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[书籍] 半导体工艺与测试实验
作者: 谢德英 , 陈晖 等 编
出版社: 科学出版社
简介: 《半导体工艺与测试实验》主要内容包括半导体工艺的6个主要单项实验、半导体材料特性表征与器件测试实验、工艺和器件特性仿真实验。并通过综合流程实验整合各单项实验知识和技能,着重培养学生的半导体器件的综合设计能力。
  
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