[书籍] 现代高纯气体制取、分析与安全使用
出版社:
科学出版社
简介:
《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》从高纯气体与集成电路等的关系说明气体纯度的重要性。集成电路的制造包括成膜、刻蚀、掺杂和注入、平衡及清洗等，各流程无不需要各种高纯气体。高纯气体的制取是《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》的核心。《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》介绍国内外最新文献，包括：吸附、精馏、离子液体、贮氢材料、钯扩散、熔体合金、膜分离、吸杂剂、多级离心和制备色谱等新技术。除了气相色谱是高纯气体分析的主体外，《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》介绍最新光谱、质谱和纳米技术在高纯气体中杂质分析的应用。考虑高纯气体绝大部分都是易燃易爆和剧毒气体，使用的安全措施尤为重要，故《现代高纯气体：制取、分析与安全使用》还介绍了容器、介质、传感器和废气的节能减排等相关知识。
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