[书籍] 微机械电子系统及期应用（第2版）
出版社:
北京航空航天大学出版社
简介:
微机械电子系统及期应用（第2版）在第一版的基础上，结合近年相关专业技术、理论的最新发展和编者近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展，内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理。 全书内容丰富、图文恰当、新颖实用，可作为普通高校大学本科高年级大学生和有关专业研究生的教材，也可供从事MEMS/NEMS技术的科技人员参考。
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