
[书籍] 微电子与集成电路设计系列规划教材:半导体器件TCAD设计与应用
出版社:
电子工业出版社
简介:
《微电子与集成电路设计系列规划教材:半导体器件TCAD设计与应用》主要内容包括:半导体工艺及器件仿真工具SentaurusTCAD,工艺仿真工具TSUPREM-4及器件仿真工具MEDICI,工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD,工艺及器件仿真工具ISE-TCAD,工艺仿真工具(DIOS)的优化使用,器件仿真工具(DESSIS)的模型分析,片上(芯片级)ESD防护器件的性能评估,ESD防护器件关键参数的仿真,VDMOSFET的设计及仿真验证,IGBT的设计及仿真验证等。
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