[书籍] 微机电耦合动力学
出版社:
国防工业出版社
简介:
《微机电耦合动力学》主要介绍MEMs典型构件机电耦合及机电流体耦合动力学的相关理论与应用。《微机电耦合动力学》共分12章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学问题的发展与应用现状；静电驱动微板、微梁机电耦合动力学理论；静电驱动微板、微梁机电耦合非线性动力学理论；考虑压膜阻尼的微梁机电流体耦合动力学理论；谐振式微型压力传感器敏感性分析；静电微泵泵膜动力学、流量及结构优化分析；静电驱动微板动力学实验测试。 《微机电耦合动力学》可供高等院校微电子、机电一体化等专业的师生阅读，也可作为从事微机电系统工程设计开发的研究生和科研技术人员参考。
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