[书籍] 电子信息与电气学科规划教材·电子科学与技术专业：集成电路制程设计与工艺仿真
出版社:
电子工业出版社
简介:
《电子信息与电气学科规划教材（电子科学与技术专业）：集成电路制程设计与工艺仿真》介绍当代集成电路设计的系统级前端、布局布线后端及工艺实现三大环节所构成的整体技术的发展，重点着眼于集成电路工艺过程的计算机仿真和计算机辅助设计，以及具体的工具软件和系统的使用。《电子信息与电气学科规划教材（电子科学与技术专业）：集成电路制程设计与工艺仿真》共12章，主要内容包括常规集成平面工艺、集成工艺原理概要、超大规模集成工艺、一维工艺仿真综述、工艺仿真交互设置、工艺仿真模型设置、工艺仿真模拟精度、一维工艺仿真实例、集成工艺二维仿真、二维工艺仿真实现、现代可制造性设计、可制造性设计理念，并提供电子课件和习题解答。 《电子信息与电气学科规划教材（电子科学与技术专业）：集成电路制程设计与工艺仿真》可作为高等学校电子科学与技术、微电子、集成电路设计等专业的教材，也可供集成电路芯片制造领域的工程技术人员学习参考。
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