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[书籍] 超大规模集成电路:基础·设计·制造工艺
作者: [日] 岩田穆 , 角南英夫
出版社: 科学出版社
简介: 《超大规模集成电路:基础·设计·制造工艺》共分为上下两篇,上篇为基础设计篇,主要介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、模拟VLSI、VLSI的设计法与构成法、VLSI的实验等;下篇为制造工艺篇,主要介绍集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积、电极与配线等。
  
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