[书籍] MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用
出版社:
国防工业出版社
简介:
《MEMS与微系统系列·微米纳米技术丛书：MEMS集成设计技术及应用》首先在简要介绍MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）设计技术与设计工具基础之上，对MEMS设计的关键技术——系统级设计技术、器件级设计技术、工艺级设计技术以及各层级转换接口技术，进行了详细的分析与论述。然后对基于这些关键技术和泛结构化MEMS集成设计方法的MEMS Garden的特色做了介绍，并通过杠杆放大微加速度计说明了其操作方法。最后，通过大量不同种类的MEMS器件的设计实例验证了MEMS Garden的通用性与先进性。
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