[书籍] 中华人民共和国国家标准（GB/T 30857-2014）：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法
出版社:
中国标准出版社
简介:
《中华人民共和国国家标准（GB/T 30857-2014）：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》规定了制备氮化镓薄膜外延片及其他用途的蓝宝石单晶切割片、研磨片、抛光片（简称衬底片）厚度和厚度变化是否满足标准限度要求的测试方法。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 30857-2014）：蓝宝石衬底片厚度及厚度变化测试方法》适用于蓝宝石衬底片厚度及厚度变化的测试。
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