[书籍] 中华人民共和国国家标准（GB/T 30866-2014）：碳化硅单晶片直径测试方法
出版社:
中国标准出版社
简介:
《中华人民共和国国家标准（GB/T 30866-2014）：碳化硅单晶片直径测试方法》按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 30866-2014）：碳化硅单晶片直径测试方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)及材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 30866-2014）：碳化硅单晶片直径测试方法》规定了用千分尺测量碳化硅单晶片直径的方法。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 30866-2014）：碳化硅单晶片直径测试方法》适用于碳化硅单晶片直径的测量。
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