[书籍] 中华人民共和国国家标准（GB/T 30867-2014）：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法
出版社:
中国标准出版社
简介:
《中华人民共和国国家标准（GB/T 30867-2014）：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》规定了碳化硅单晶片厚度及总厚度变化（TTV）的测试方法，包括接触式和非接触式两种方式。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 30867-2014）：碳化硅单晶片厚度和总厚度变化测试方法》适用于直径不小于30mm、厚度为0.13mm～1mm的碳化硅单晶片。
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