[书籍] 中华人民共和国国家标准（GB/T 31227-2014）：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
出版社:
中国标准出版社
简介:
《中华人民共和国国家标准（GB/T 31227-2014）：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》规定了使用原子力显微镜(AFM)测量表面粗糙度的方法。 《中华人民共和国国家标准（GB/T 31227-2014）：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法》适用于测量溅射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra小于100nm的薄膜。其他非溅射薄膜的表面粗糙度的测量可以参考此方法。
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