[书籍] 原子层沉积技术 原理及其应用
出版社:
科学出版社
简介:
《原子层沉积技术 原理及其应用》是面向研究生和从事材料研发等相关行业的科研人员系统介绍原子层沉积技术原理及其应用的一本专业书籍，共13章。包括原子层沉积的发展历史、原理、前驱体、沉积材料及其理论计算与模拟等基础内容，又着重论述等离子体增强原子层沉积和分子层沉积技术，还涉及了原子层沉积在微电子、纳米技术、光学、能源、催化和生物医学领域的应用。《原子层沉积技术 原理及其应用》内容丰富新颖，在注重原子层沉积基本原理和生长机制阐述的同时，又突出了原子层沉积制备材料的先进性和应用的前沿性，反映了原子层沉积技术中的一些新进展和成果，是先进技术原理与实际应用的有机结合。 《原子层沉积技术 原理及其应用》可作为高等院校材料科学与工程、化学化工、信息电子、物理等专业研究生的参考书，也可供从事材料合成与制备及其微电子、纳米技术、能源、催化、光学和生物医学等相关领域的科研人员和工程技术人员借鉴参考。
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