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[书籍] 稀土高k栅介质材料
作者: 冀婷 , 徐闰 等
出版社: 国防工业出版社
简介: 《稀土高K栅介质材料》主要介绍稀土高K栅介质材料Er2O3、Tm2O3薄膜的生长、结构及其特性,重点介绍了利用分子束外延方法获得超薄高K氧化物薄膜的方法。并运用多种手段对薄膜的生长过程、结构、电学特性及能带排列等进行了研究。《稀土高K栅介质材料》较为全面、系统地介绍了Er2O3、Tm2O3,作为高K栅介质候选材料的制备及相关物理性质。
  
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