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[书籍] 真空镀膜原理与技术
作者: 方应翠 , 沈杰 等 编
出版社: 科学出版社
简介: 《真空镀膜原理与技术》阐述了真空镀膜的应用,以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程,探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法,包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用。
  
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