[书籍] TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器
出版社:
黑龙江大学出版社
简介:
《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》采用纳米TiO2球壳薄膜作为敏感薄膜利用Si/TiO2异质结构的优良电学特性设计pn结衬底电极TiO2氧传感器。制备完成的TiO2纳米球壳直径在250nm左右，结构完整。能够满足提高被测气体的表面吸附，获得优良的气体灵敏度的结构特点。《TiO2纳米层壳结构薄膜氧传感器》讨论了采用MEMS技术和CMOS工艺相结合制作的Ti02纳米层壳结构薄膜氧传感器，该传感器可利用异质结构电传输及纳米球壳的纳米效应实现O2检测。
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